事故番号 2617 事故発生日 2008/05/23 災害現象 破裂等 装置名 CVD装置(モノシラン消費設備) 適用法規 高圧ガス(一般) 機器名 ロータリーポンプ 死者/負傷者 0/0 事故概要 CVD装置における真空ポンプの破裂(放電停止時に原料ガス(SiH4、N2O)を停止する機能を有していなかった/真空ポンプの排気系が詰まっていたため、圧力が下がらず、また、放電されなかったため未反応の原料ガスが、ポンプ内に滞留し、滞留した原料ガスが反応を開始し、内圧の上昇によりポンプが破裂した) 事故原因 設計・構造上の不良、点検不良 場所：県・市 愛知 事故会社 その他(研究所) 事故物質 モノシラン 作業状況 通常運転中 参考文献 2009CD(HP08-317) 次ページ   目次ページに戻る